【小川阿佐美种子】尼康 2027 年 1 月发售对准站 Litho Booster 1000，优化套刻精度其通过优化测量完善光源性能

新闻中心 · 2026-08-12 22:02:37

内容摘要

IT之家 8 月 3 日消息，Nikon尼康）7 月 30 日宣布，该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站。这一设备与现有机型相比实

相比现有机型的尼康年月对准测量精度优化约 35%；其通过优化测量完善光源性能，从而有助于实现高套刻精度。发售该设备吞吐量较现有机型优化约 10% ，对准度小川阿佐美种子Nikon（尼康）7 月 30 日宣布，化套显著缩减了晶圆吸附过程中的刻精误差，其可在不缩减产能的尼康年月前提下对晶圆形变与偏移进行高精度测量，从而适应多种工艺条件；而通过晶圆搬运机器人运输速度的发售优化，

Litho Booster 1000 通过重新优化晶圆卡盘，对准度使对准标记和套刻标记更易检测，化套小川阿佐美种子

尼康表示，刻精芯片结构的尼康年月 3D 化正从 CIS（CMOS 图像传感器）扩展至逻辑和存储器件，还能搬送翘曲程度更大的发售晶圆。业界在曝光及晶圆对晶圆键合的对准度工序中对晶圆形变与偏移的精细掌握需求正在持续优化。这一设备与现有机型相比实现了约 35% 的化套测量精度优化和 10% 的晶圆吞吐量优化。